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                      LL-HS-DS 熱式氣體質量流量控制器

                      LL-HS-DS 熱式氣體質量流量控制器

                      一、產品簡介:

                             質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精 密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、 環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括:電子工藝 設備,如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設備、光纖熔 煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。

                      二、主要技術指標:

                      1量程范圍                (0~500,1000,1500,2000,2500,3000...)SLM
                      2準 確 度                ±0.5%F.S/±1.0%F.S
                      3                    ±0.5%F.S
                      4重復精度                ±0.2%F.S
                      5響應時間                電特性:1sec 氣特性:(1~4)sec
                      6工作壓差                0.02~1.0Mpa
                      7                    3Mpa,10Mpa
                      8工作環境溫度                0~50℃
                      9數 字 量                RS485/232 MODBUS 協議
                      10模 擬 量                DC 0~5V ,1~5V,4~20mA 可選
                      11                    DC ±15V/24V 可選,電源功率≥20W
                      12電氣連接                DB15 針
                      13                    1×10-9SCCSHe
                      14底座材質                316L 不銹鋼
                      15密封材質                氟橡膠,聚四氟乙烯,丁晴橡膠
                      16氣路接頭                3/4〞,φ20,φ25,法蘭連接




                      注意
                      質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N?)標定。
                      質量流量的單位規定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)。
                      標準狀態規定為:
                      溫度-----298.15K (25℃);
                      氣壓-----101325 Pa (760mmHg)
                      F. S (Full Scale); 滿量程值

                      三、工作原理:

                      LL-HS/DS 系列氣體質量流量控制器卓越的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的 傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器,能自動校正溫度 及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值,然后測 量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的 原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金 RTD 絲纏繞在堅固 的陶瓷芯軸上,牢固且可靠。整個傳感器密封在 316 不銹鋼包裝殼內。

                      四、一般異常情況判斷和處理:

                      現象可能原因處理方法
                                      開機后無氣體流過                氣源未開, 氣路不通                接通氣源, 開通氣路
                                      沒有設定目標流量                參照操作詳解 3.3.1
                                      過濾器堵塞                更換過濾器
                                      調節閥故障                檢查閥線圈是否斷開,清洗調節閥
                                      電路故障                維修電路
                                      零點偏差                參照操作詳解 3.3.6
                                      流量控制不穩定                傳感器故障                更換傳感器
                                      電路故障                維修電路
                                      閥門污染                清洗閥門,更換密封件
                                      氣源壓強太低或不穩                提高氣源氣壓,穩定氣源壓強
                                      在 閥 門 關 閉 的 情 況下,仍有較大的流量流過                調節閥故障                重新調整調節閥
                                      入口氣壓過高                降低入口氣壓
                                      通道堵塞                清洗 MFC 通道
                                      流量顯示不能達到滿量程值                設定目標流量低于滿量程                檢查設定值
                                      其它電路故障                維修電路
                                      不通氣時零點不穩定                電路故障                維修電路
                                      傳感器故障                更換傳感器

                           


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